设备规格及主要参数：

电子负载：150kW；                                        

电流量程：100A/1000A；                                                  

电压量程：1~80V/0~800V；                                                    

阳极气体流量：50～2500slpm；
控制范围：±1.5% of rate ±0.3% F.S.                                        

阴极气体流量：100～15000lpm；
控制范围：±1.5% of rate ±0.3% F.S.                                                
最大气流：15000lpm@80℃/404kPa；                      
最大冷却功率：150 kW；
最大加热功率：150 kW                  
冷却容量：150 kW,
冷却泵功率：150kW,
流量：500 slpm                
辅助电压测量：600通道；
测试范围：-2.0V～+2.0V；

设备测试或加工精度：

电流精度：±(0.05% + 0.1% FS)；                    

电压精度：± (0.025%+0.025% FS)；                      

阳极气体流量控制精度：±1.5% of rate ±0.3% F.S.              
阴极气体流量控制精度：±1.5% of rate ±0.3% F.S. ；                    
气体温度控制精度：±2℃；                    

冷却液温度控制精度：±2℃；              

辅助电压测试进度：±1 mV；  

设备测试或加工能力：

气体露点控制范围：室溫±10℃～90℃；  
加湿器反应速度：1～3℃/min；            
冷却液温度控制范围：室溫±10℃～90℃；
控制軟體即時顯示電壓監測數值。