设备规格及主要参数：

电子负载：2000W；                                        

电流量程：250A/ 500A/ 1000A；                                                  

电压量程：0~20V；                                                    

阳极气体流量：1～50slpm；
控制范围：1%FS～FS；                                        

阴极气体流量：3～150slpm；
控制范围：1.5%FS～FS；                                                

最大气流：150slpm@80℃/404kPa；
濕度精確度: ±℃
AC Impedance Frequency Range：1mHz to 10kHz

设备测试或加工精度：

电流精度：±0.3% FS；                    
电压精度：±3mV±0.3% FS；
阳极气体流量控制精度：±1.5% of rate ±0.3% F.S.  
阴极气体流量控制精度：±1.5% of rate ±0.3% F.S.                                                

阴极湿度测量精度：>90 RH%FS；                                                                        

气体背压控制：0 - 60 PSI範圍內可調；              
控制模式：恆電流、恆電壓、恆功率

设备测试或加工能力：

阻抗量測及分析功能
量測頻率範圍：1 mHz - 10 kHz
分析方法：Single Sine, one generator and two gain / phase measurement channels
參考電壓阻抗：> 100 Ohms,
數據顯示：可搭配Zview分析軟體實時顯示Nyquist Plot, Bode Plot數據分析。
分析功能：可在分析監視軟件內進行測試數據選圖與分析功能。
斷電流阻斷法：包含即時量測、紀錄與顯示阻抗值功能。